擴散硅壓力變送器SH2188

擴散硅壓力傳感器工(gong)作原理

擴散硅(gui)壓力(li)傳感器的(de)壓力(li)直接(jie)作用(yong)(yong)于傳感器的(de)膜片(pian)上（不銹(xiu)鋼或陶瓷），使膜片(pian)產生與介質壓力(li)成(cheng)正比的(de)微位移，使傳感器的(de)電(dian)阻值(zhi)發(fa)生變化，和用(yong)(yong)電(dian)子線路檢測(ce)這一(yi)變化，并轉換輸出(chu)一(yi)個對(dui)應(ying)于這一(yi)壓力(li)的(de)測(ce)量(liang)。

擴散硅壓力傳(chuan)感(gan)器(qi)的特點

1、適合制作小(xiao)量程的傳感器

硅芯片的這種力敏電阻的壓(ya)阻效應在零點附近的低量(liang)程(cheng)段無死區(qu)，制(zhi)作壓(ya)力傳感器的量(liang)程(cheng)可(ke)小到(dao)幾(ji)個Kpa。

2、輸出靈敏度高

硅應(ying)變電阻的靈敏因子比金屬應(ying)變計高(gao)50～100倍，故相應(ying)的傳感器的靈敏度就很高(gao)，一(yi)般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求(qiu)，使用(yong)比較方(fang)便(bian)。

3、精度高

由(you)于傳感器的感受、轉換(huan)和檢測(ce)三部分由(you)同(tong)一個元件實現，沒有中間(jian)轉換(huan)環節，重(zhong)復性和遲滯誤差較小。由(you)于單晶(jing)硅本身(shen)剛度很(hen)大，變形很(hen)小，保證了良好的線(xian)性。

4、由于工作單性(xing)形變(bian)低至(zhi)微應變(bian)數(shu)量級(ji)，彈性(xing)芯(xin)片大位移(yi)在(zai)亞(ya)微米數(shu)量級(ji)，因而無磨損(sun)，無疲勞，無老化，壽命長達1×103壓力循環，性(xing)能，可(ke)靠性(xing)高。

5、由于硅的(de)優良化學防腐(fu)性能，即使是非隔離型的(de)擴散硅壓(ya)力傳感器，也有相當程度的(de)適應(ying)各(ge)種(zhong)介質的(de)能力。

6、由于芯片(pian)采(cai)用集(ji)成工藝，又無傳動(dong)部(bu)件，因此(ci)體積(ji)小，重量輕。

擴散硅壓力變送器SH2188

擴散硅壓(ya)力傳感(gan)器的(de)性能參數(shu)

測(ce)量介(jie)質：與316L不銹鋼兼容的各種、氣(qi)體或(huo)蒸汽

量(liang)程范圍：-100 kPa～0～2kPa…60MPa

壓(ya)力(li)：表(biao)壓(ya)、絕壓(ya)、密封壓(ya)

恒壓供電(dian)：推薦(jian)10VDC，大15VDC

恒流供電：推薦1.5mA，大(da)4mA

橋路電阻(zu)：4000Ω(典型(xing)值)

綜合精度：0.1%FS，0.3%FS，0.5%FS可選

溫度漂移(yi)：0.02%FS/℃

時間漂移(yi)：≤0.2%FS/年

補償溫度：0～80℃

介質溫度：-40～125℃

溫度：-40～85℃。